公告摘要:
北航集成電路科學(xué)與工程學(xué)院光刻版采購公告
1. (1)采購貨物有關(guān)信息 設(shè)備或材料名稱/參數(shù)/數(shù)量/交貨期/交貨地點/是否接受進(jìn)口產(chǎn)品 設(shè)備或材料名稱:光刻版; 參數(shù)及數(shù)量 光刻版參數(shù) 掩模版投影 掩模型號 I-line保護(hù)膜 CD設(shè)計線寬 線寬精度(μm) 線寬均值偏差(μm) 對準(zhǔn)偏......
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北航集成電路科學(xué)與工程學(xué)院光刻版采購公告
1. (1)采購貨物有關(guān)信息 設(shè)備或材料名稱/參數(shù)/數(shù)量/交貨期/交貨地點/是否接受進(jìn)口產(chǎn)品 設(shè)備或材料名稱:光刻版; 參數(shù)及數(shù)量 光刻版參數(shù) 掩模版投影 掩模型號 I-line保護(hù)膜 CD設(shè)計線寬 線寬精度(μm) 線寬均值偏差(μm) 對準(zhǔn)偏......
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