公告摘要：
含氟尾氣處理模組招標(biāo)公告(2025-YKZNKX-W8816)
一、項目名稱：含氟尾氣處理模組 二、項目編號：2025-YKZNKX-W8816 三、項目概況： 1 技術(shù)服務(wù)要求 設(shè)備名稱 規(guī)格參數(shù) 計量單位 數(shù)量 備注 含氟尾氣處理模組 1.能處理 CF4,SF6，CHF3等刻蝕機(jī)排出的尾......
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公告摘要：
含氟尾氣處理模組招標(biāo)公告(2025-YKZNKX-W8816)
一、項目名稱：含氟尾氣處理模組 二、項目編號：2025-YKZNKX-W8816 三、項目概況： 1 技術(shù)服務(wù)要求 設(shè)備名稱 規(guī)格參數(shù) 計量單位 數(shù)量 備注 含氟尾氣處理模組 1.能處理 CF4,SF6，CHF3等刻蝕機(jī)排出的尾......
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