極紫外光刻檢測控制系統(tǒng)采購意向公示

招標(biāo)預(yù)告上海市 2025-06-18

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公告摘要：

極紫外光刻檢測控制系統(tǒng)采購意向公示
為便于供應(yīng)商及時(shí)了解采購信息，現(xiàn)將我?？焖俨少徱庀蚬_如下： 1、項(xiàng)目概況：（1）擬采購方式：上大迅采（2）采購項(xiàng)目名稱：極紫外光刻檢測控制系統(tǒng) （3）預(yù)算金額：47.8萬元（4）采購需求概況：極紫外光刻檢測系統(tǒng)，1套。用于檢測裝置系統(tǒng)級自動(dòng)化控制，可實(shí)現(xiàn)各......

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