光譜共焦測頭需求量:1.0套型號/件號:·;技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)號:具備以下功能：可兼容三坐標(biāo)測量軟件；測量范圍1-2mm；工作距離：3-8mm；Z軸分辨率：2nm；光斑直徑：10μm；橫向分辨率：5μm；線性精度：100nm，重復(fù)精度：30nm，數(shù)值孔徑：0.24

其他公告北京市 2025-06-06

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公告摘要：

光譜共焦測頭需求量:1.0套型號/件號:·;技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)號:具備以下功能：可兼容三坐標(biāo)測量軟件；測量范圍1-2mm；工作距離：3-8mm；Z軸分辨率：2nm；光斑直徑：10μm；橫向分辨率：5μm；線性精度：100nm，重復(fù)精度：30nm，數(shù)值孔徑：0.24......

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