公告摘要:
光譜共焦測頭需求量:1.0套型號/件號:·;技術標準號:具備以下功能:可兼容三坐標測量軟件;測量范圍1-2mm;工作距離:3-8mm;Z軸分辨率:2nm;光斑直徑:10μm;橫向分辨率:5μm;線性精度:100nm,重復精度:30nm,數(shù)值孔徑:0.24......
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公告摘要:
光譜共焦測頭需求量:1.0套型號/件號:·;技術標準號:具備以下功能:可兼容三坐標測量軟件;測量范圍1-2mm;工作距離:3-8mm;Z軸分辨率:2nm;光斑直徑:10μm;橫向分辨率:5μm;線性精度:100nm,重復精度:30nm,數(shù)值孔徑:0.24......
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